半導体用語集
チャック洗浄機構
英語表記：chuck cleaning mechanism
薬液に浸かった搬送チャックを次のチャック動作を行う前に、付着薬液を除去するため、水洗と乾燥を行う機構。水洗の方法にはスプレーを用いるものと、単にオーバーフローリンス槽に浸漬するものとがある。N2またはドライエアを吹き付けて乾燥する。
関連製品
「チャック洗浄機構」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「チャック洗浄機構」に関連する用語が存在しません。
「チャック洗浄機構」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
