半導体用語集
ブレード原点セット カッタセット
英語表記：blade height calibration
ウェーハテーブル面へブレードを接触させることにより、ブレード高さの基準を設定すること。ブレードへのダメージが無い。光ビームを使ったブレード端部の高さ検知機能も併用されている。
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