半導体用語集
フィゾー干渉計方式
英語表記：Fizeau interferometer method
被測定物表面に対して測定光を垂直に投射し、その反射光と基準リファレンス面からの反射とで形成される干渉縞により被測定物表面のフラットネスを測定する方法。
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