半導体用語集
PZT系強誘電体
英語表記：PZT family ferroelectric
チタン酸ジルコン酸鉛(PbZrx Til-x03)の略で、現在最も盛んに研究開発が進められている強誘電体材科の一つである。ペロブスカイト型の結晶構造を持つ酸化物強誘電体である。
この材料は常温で比較的安定に大きな残留分極がえられ、キュリー温度も動作温度に対して十分大きな値を取る。PZTの特徴はZrとTiの配合比を変化させることにより、比誘電率、残留分極、キュリー温度などの値が変化する。 Zr/Ti = 52/48付近に相境界 (MBP: Morphotr叩ic Phase Boundary) があり、Zrリッチ側は菱面体晶、Tiリッチ側は正方体品となる。比誘電率はMBPで極大値を取り、薄膜でも1,000以上の値となる。残留分極と抗電界は組成比により変化する。PZTのもう一つの特徴として、他の陽イオンを添加することによりその特性を変化させることができる。よく使われているイオン種としては、La、Nb、Biなどがある。陽イオンを添加することで、残留分極や比誘電率の変化の他にリーク電流低域の効果もある。
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