半導体用語集
研磨温度
英語表記：polishing temperature
加工物と工具を擦り合わせる研磨雰囲気の温度を指す。この研磨温度は、薄い基板状の加工物の背面に熱電対、サーミスター、感熱テープなどをセットし、あるいは研磨直後の加工物面や工具面に温度検出部を直接に接触させたり、放射赤外線温度計を用いるなどして測定される。研磨開始時の室温相当の雰囲気温度は、研磨の進行と共に上昇し、一定温度に落ち着く。この上昇温度の原因には、研磨運動に伴う加工物、工具、砥粒、加工液の間の材料破壊、材料除去、摩擦、摩耗、新生面生成、吸着、切り屑溶解など機械的作用のほか物理的、化学的作用によるものがある。このほかにモータや軸受部の発熱が伝わってくる場合もある。研磨温度は、加工量の増減、加工品質や加工精度の良否、工具寿命などに関係するので、部品性能や加工の経済性などが考慮されて加熱した研磨剤の供給、埋め込みヒータによる工具面加熱、赤外光照射による加熱といった積極的に温度上昇を利用する条件と、加工物や工具の裏面を積極的に水冷する条件がある。
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