半導体用語集
浮遊電位
英語表記：floating potential
ラングミュアプローブの電流電圧特性において、プローブ電流が0となる時のプローブの電位を浮遊電位(フローティングボテンシャル; floating potential)という。すなわち、プローブに入るイオン電流と電子電流が打ち消しあって正味のプローブ電位が0 となる時の電位であり、プラズマ電位を基準(0)とする時浮遊電位は、イオンと電子の質量をmi、meとすれば、
（数式）
と与えられ、電子温度Teとイオン質量で決まる。このように浮遊電位はもともとプローブ特性から出てきた言葉であるが、一般にプラズマが接する電極や壁に入る正味の電流が0となる場合、プラズマに対してそれらが浮遊電位にあるという。
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