半導体用語集
エレクトロンサプレッサ バイアス
英語表記：electron suppressor bias
イオンビームがターゲットに注入される過程において、様々な電極、アパーチャなどに衝突する。その時発生する二次電子を電場、あるいは磁場により発生場所から外部に漏れないようにする機構。
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