半導体用語集
洗浄剤
英語表記：cleaner
物質の表面を清浄にするために用いられる溶剤のこと。洗浄剤を選択する場合，多くの物理的，化学的性質を考慮する必要がある。洗浄剤の選択で重要なことは，表面からちりを引っ張り出す能力と同時に蒸発させる速度があること（膜乾燥特性），洗浄剤が室温で保持できる化合物との量（ちり容量），組立基板におけるすべてのプラスチックや材料と調和していること
（調和性），洗浄剤が窪みに侵入したり，他の物質と置換する能力があること（表面張力），装置の加熱ゾーンで起こるような極端な温度条件下でも安定なこと（安定性）である。
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