半導体用語集
非水系洗浄装置
英語表記：non-aqueous cleaning equipment, washing equipment
洗浄剤に炭化水素系あるいはフッ素系不活性液体などを使用し，すすぎ，乾燥にも専用の洗浄剤を使用して洗浄する装置。
非水系としては現在，炭化水素系が主流であるが，炭化水素系は引火点の問題により装置に防爆対策が必要であり，また乾燥に時間がかかるなどの欠点を持つ。炭化水素系に代わる洗浄剤としてフッ素系不活性溶剤がある。フッ素系不活性溶剤は，不燃で低毒性，洗浄力に優れるなどの特徴を持つが，洗浄剤自体が高いという欠点を持つ。このため，蒸発などによる洗浄剤の消耗を極力抑える装置が必要である。
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