半導体用語集
準水系洗浄装置
英語表記：semi-aqueous cleaning equipment, washing equipment
洗浄剤にグリコールエーテル系洗浄剤やテルペルなどを使用し，すすぎとして水を使用した洗浄装置。専用の洗浄剤を使用しているため，従来のフラックスがそのまま使用できるという特徴を持つ。しかし，すすぎに水を使用しているため，非水系洗浄にくらべて乾燥時間が長いという欠点を持つ。装置全体としての使用量は，水系洗浄装置，非水系洗浄装置にくらべて少なく
全体の10％ほどである。
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