半導体用語集
レイズドフロア
英語表記：raised floor
半導体製造装置に供給される電気、がす、水、薬品など、ならびに製造装置より排出される排水、排気などの配管、ダクトなどを作業床下に設置することのできる二重床構造。二重床空間を還気のプレナムチャンバとして利用する場合も多い。
関連製品
「レイズドフロア」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「レイズドフロア」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
