半導体用語集

グレーティングパネル

英語表記:grated panel

フリーアクセスフロアを構成する動板又はステンレス製のすのこ状床パネル。還気の吸込口になる開口を大きくとれるが、搬送ロボットの走行性及び作業者の移住性に難点がある。


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