半導体用語集
半乾式排ガス処理装置
英語表記：semi dry type exhaust gas abatement equipment
水分の補給を必要とする吸着材を用いて、半導体製造装置などから排出される有害ガスを無害化する装置。乾式と同じ吸着材式であるが、水分が必要なことから反乾式と呼ばれる。
関連製品
「半乾式排ガス処理装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「半乾式排ガス処理装置」に関連する用語が存在しません。
「半乾式排ガス処理装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
