半導体用語集
機能水
英語表記：functional water(ozonated UPW, hydrogenated UPW, specific gas dissolved UPW et.al)
水にある種の物理的、化学的あるいは電気的処理を加えることで新たな機能が付与された水のこと。半導体や液晶製造工程においては、電気分解で製造されるアノード水およびカソード水、ガスの添加で製造されるオゾン水、水素水、炭酸ガス添加水、アンモニア添加水などがこれに相当する。
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