半導体用語集
工ッジリンス
英語表記：edge rmse
ウェハべベル部を含むウェハ表面端部に付着したレジストをシンナーなど、溶剤の細流を吹きつけることで除去する機能。
ウェハ表面端部が各工程の位置決め部やウェハキャリアと接触した場合のレジストの欠けによる発塵を防止する目的で使用される。この処理は、レジスト塗布処理と同時、もしくは連続して行われる。
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