半導体用語集
ファンフィルタユニット
英語表記：fan filter unit
ULPAフィルタなどと小型送風機を一体化した空気清浄装置。天井吊り形、床置き形があり、主に非一方向流形クリーンルームに用いられていたが、最近は垂直一方向流形クリーンルーム、クリーントンネルにも適用されている。
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