半導体用語集
クリーンブース
英語表記：clean booth
垂直吹き出し形の簡易なクリーンルーム。ユニットの天井面にはファンフィルタユニットなどが設けてあり、壁面はプラスチックのカーテンになっている。小空間を簡便にクリーンルーム化することができ、移動可能なものもある。
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