半導体用語集
サーマルチャンバ
英語表記:thermal chamber
恒温機能及び必要に応じて高湿機能、電磁波対策機能などを持つクリーンベンチ、クリーンブースまたはクリーンチャンバ。主にホトリソグラフィなどの恒温性が必要な工程に用いられ、精度は
±0.1℃および±0.01℃の機種がある。
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