半導体用語集
薬品自動供給装置
英語表記：automatic chemical supply(dispense) system
半導体製造工程で使用される薬品を、製造装置に自動供給する装置。クリーンブース、フィルタなどにより構成され、大型供給装置は更にストレージタンク、サプライタンク、バルブユニットなどの設備が付帯する。
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