半導体用語集
インデックス送り
英語表記：indexing
ウェーハをプロービングするために隣合うダイの縦、又は横方向に移動させることをいう。マルチサイトプロービングの時には複数ダイ分移動する。ダイとダイの距離が異なっているウェーハのインデックス送りを異種インデックス送りという。
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