半導体用語集
深冷空気分離装置
英語表記：cryogenic air separator
原料空気を圧縮して液化させた後、沸点の差を利用してN2、O2、Arを分離する装置。昇圧ポンプ、熱交換器、空気を膨張させるタービンおよびガスを分離する精留器から成る。液化ガスとして採りだす物と、ガス採りする物との2種類ある。ガス採りの深冷空気分離装置は、主にオンサイトプランとして設置される。
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