半導体用語集
MPU
英語表記：micro processor unit
記憶回路や多様な演算処理回路を搭載したLSIチップ。あらゆる機器の制御用に用いられる。周知の様にパソコンの制御にはペンティアム（インテル社）やPowerPC（IBM社）がMPUとして使われているが、パソコンの構成部品であるハードディスクドライブやモニタ等にもそれぞれのMPUが用いられている。電子機器ごとに異なるMPUが用いられるため、世界に出回っているMPUの種類は膨大なものとなっている。一方、CMPを行った時の研磨特性はウェーハ表面のパターン形状や密度に依存することが知られており、MPUのように多品種の生産に対応するにはそれなりの技術が必要である。品種毎にCMPを行う方法を変更する工夫ももちろんであるが、CMPを行った時の研磨特性のパターン依存性抑制や、パターンが異なっても安定にCMP終点を検知する技術という本質的な改善が求められている。
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