半導体用語集
パターン寸法精度
英語表記：dimension accuracy
現像後の仕上りパターンの設計パターンに対する寸法忠実性の度合をパターン寸法精度と呼び、両者間の寸法差を寸法誤差という。
パターン寸法は、現像後の仕上りパターンで計測されるため、パターン寸法精度はビーム寸法精度だけでなく、レジスト中での電子の前方散乱や後方散乱に伴い発生する二次電子の蓄積ェネルギー分布、レジスト固有の解像特性や現像プロセスなど様々な要因によって決定される。
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