半導体用語集
ビーム寸法精度
英語表記：beam Size accuracy
実ビーム寸法の設計ビーム寸法に対する寸法忠実性の度合をパターン寸法精度と呼び、両者間の寸法差をビーム寸法誤差という。
描画時にビームの寸法を変える可変成形ピーム方式の描画装置では、電子銃から放出された電子ピームを2枚のアパーチャの重なりで成形し、このアパーチャ像を各種レンズと偏向器の組
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