半導体用語集
精度
英語表記：accuracy
仕上りパターンの設計値に対する精密さの度合を精度と呼ぶ。電子ビームリソグラフィにおいては、パターンの寸法に関わる精度とパターンの位置に関わる精度とがあり、これらを併せて描画精度という。パターン寸法精度とは、現像後パターンの設計パターンに対する寸法忠実性の度合を意味し、設計寸法と実寸法との差を寸法誤差と呼ぶ。パターン位置精度とは、設計パターン位置にどれだけ忠実にパターンが配置されているかを意味し、設計位置と実際のパターン位置との差を位置誤差と呼ぶ。パターン位置誤差には、ビームとビームとのつなぎの善し悪しを意味する接続精度、パターン位置の絶対配置精度を意味する長寸法精度、下地パターンとのずれの善し悪しを意味する合わせ精度などがある。これらの精度は、描画対象となるパターンの寸法によってその許容値が変化する。またそこで発生する誤差は、装置の性能、使用環境などの様々な要因(誤差要因と呼ぶ)によって変動する。
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