半導体用語集
気流可視化
英語表記：airflow visualization
タフト、純水ミストなどを用い、クリーンルーム内の空気の動きを見ることができるようにすること。垂直一方向流形クリーンルーム内の気流調整、塵埃の拡散範囲予測、製造装置の形状または配置決定などに利用される。
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