半導体用語集
薬品自動希釈混合装置
英語表記：automatic chemical diluting and mixing equipment
エッチング液や洗浄液を調整するための薬品の希釈や数種のものの混合を自動で行う装置。過酸化水素系洗浄液は使用直前に調整する必要があるため洗浄装置の中に組込まれるが、ふっ酸エッチング液は安定であるから大量にまとめて所定の値に希釈し、各ユースポイントへ供給できる本装置が採用される。
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