半導体用語集
付着粒子汚染
英語表記：surface contamination by particulate
対象としている物体の表面が粒子によって汚染されること、または汚染されている状態。物体表面への浮遊微粒子の付着は静電力（クーロン力）、重力、ブラウン拡散などが関与するが、2μm以下の微粒子では主として静電力による。
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