半導体用語集
レーザマーク IDマーク
英語表記：laser mark
レーザビーム（ND:YAGが主流）をウェーハ表面に照射し熱で表面にドット（穴）を付けて形成したマーク。最低5（横）×9（縦）のドットマトリックスでOCR英字および数字を印してベンダー名称、ロット番号、特性等のウェーハ識別情報（IDマーク）とし、プロセスでのウェーハトラッキング、製造管理等に使用する。バーコード、マトリックスコード等もある。ドット深さは切断後或いはポリシング後に印すかで異なる。マークにおける文字や穴の大きさ、形、位置、情報等に関しSEMI規格がある。
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