半導体用語集
ECR スパッタリング装置
英語表記：electron coupling resonance sputtering system
マイクロ波と磁界を印加して、電子サイクロトロン共鳴（ECR）放電を発生させ、プラズマとターゲット電位とを独立に制御してスパッタリングを行う装置。（cf．④JIS）
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