半導体用語集
逐次サンプリング法 連続サンプリング法
英語表記：secquential sampling method
高清浄度空間の清浄度評価法の一つ。空気を連続サンプリングし、微粒子の累積個数が評価線図に定める合格域に入った時点で、所定の清浄度を満足しているとする。評価線図はポアソン分布の区間推定にて合格域を決定する。
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