半導体用語集
研磨布の物性
英語表記：properties of polishing pad
研磨布を構成する物質やその形状等によって、決定される基本的な諸性質のこと。研磨布の物性とは厚み、硬度、密度、圧縮率、圧縮回復率が代表的であり、ゴム、プラスチックの測定法を用いることが多く、これらの諸物性は均一性や平坦性などの研磨特性に大きく影響を与える。しかし、上記の測定項目は静的な物性であり、研磨特性との相関が必ずしも一致しないため、湿潤状態での測定や動的粘弾性、圧縮・解放サイクルの繰り返しによる圧縮特性の径時変化などの、動的かつ実際の研磨に近い状態での測定が必要となる。
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