半導体用語集

カンチレバープロービングカード

英語表記:cantilever probing card

 現在,最も一般的に使われているプロービングカードで,針が水平方向から出るタイプ。針材質はタングステン(W)が標準で使われているが.コンタクト抵抗(プローブとパッド(チップの電極部)間の接触抵抗)を低く押えたい場合などで,パラジウム合金(Pd)やベリリウム銅(BeCu)が使われることもある。
 主な構造は,針を水平方向に並べ,リングと呼ばれる(通常セラミック)固定台にエポキシ樹脂で固定し,そのリングをプリント基板にはめ込んだ形をとる。針の根元側は,プリント基板のパターンにはんだ付けされ,電気的導通が取られる。
 最近は,針先形状を砲弾型にしたり,コーティングあるいは熱処理などの工夫をこらし,アルミくずがつきにくく,メインテナンス頻度を減少させる検討もなされている。
 針材質としてタングステンが標準で使われているのは寿命が長く,安価なためである。その製造は,人的作業に頼る部分が多く,ピン数に比例して価格があがっていくという欠点はあるが,プローブ針ごとの修理が比較的容易であること,イニシャル時に余分な費用が発生しないことなど,技術的限界が叫ばれる中,まだまだアプリケーション次第では,主流として残る可能性もある。
 ただ,多マルチ,多ピン化,高速化など,今後のカードに対する市場ニーズにどこまで対応できるか疑問視する声も多い。


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