半導体用語集
赤外線トモグラフ IR-LST
英語表記：infrared laser scaltering tomograph
赤外線をSiウェーハの表面または、へき開面から照射し、Siウェーハ内のバルク・マイクロ・ディフェクトやOSFなどの微小欠陥で散乱した光を、へき開面もしくは表面から監査することにより、ウェーハ内の微小欠陥の大きさ、分布を測定する装置。
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