半導体用語集
配線信頼性
英語表記：interconnect reliability
LSIの配線部分が故障を起こす程度あるいはその確率を表す言葉。LSIは多様な装置の中で様々な条件で使われる内に次第に劣化し最後には故障（寿命）にいたる。装置を安全に動作させるためには、必要な寿命を保証し、故障が起こらないように品質管理、品質保証など信頼性保証をしなければならない。配線の場合は、長期間にわたって通電されたり、外部から強い応力が加わったりすると配線の金属原子が移動し、孔（ボイド）が発生して断線するエレクトロマイグレーション（electro-migration）やストレスマイグレーション（stress migration、stress induced voiding）、さらには外部から水分が浸透して金属配線に到達して腐食する故障などが知られている。これらの故障を引き起こさないために、電流容量の大きな金属材料（例えば銅など）を用いたり、配線幅を太くしたり、あるいは水分を透過させにくい保護層で覆ったりする。さらに、各種の加速信頼性試験を行って、これらの効果を確認して実際の寿命を推定する。
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