半導体用語集
一次粒子
英語表記：primary particle
粒子の最小単位であって、これ以上細かく分けることができないと認識される粒子間の境界をもつ固体粒子のこと。粒子（研磨剤中の砥粒）のキャラクタリゼーションや評価に用いられる概念である。半導体デバイスのプラナリゼーションなど精密研磨の分野では、微細な一次粒子が集合した二次粒子（凝集粒子）からなる砥粒が、しばしば用いられる。そのとき二次粒子が主としてメカニカルな作用を担うと考えられるのに対し、一次粒子は、メカニカルな作用だけでなく例えば粒子の表面活性やイオン吸着性などにより、ケミカルな作用に関係すると考えられる。一次粒子の大きさは、BET比表面積を測定し、真球モデルを用いて換算した平均粒子径（通称：BET径）をその代表値として使うことが多い。粒子が多孔質でなく、かつ表面が滑らかであれば、BET径は電子顕微鏡で観察される1次粒子の大きさの平均とほぼ一致する。
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