半導体用語集
二次粒子
英語表記：Secondary particle
一次粒子の集合体でありながら、あたかも単一の粒子として挙動する。凝集粒子のこと。粒子（研磨剤中の砥粒）のキャラクタリゼーションや評価に用いられる概念である。半導体デバイスのプラナリゼーションなど精密研磨の分野では、微細な一次粒子が集合した二次粒子（凝集粒子）からなる砥粒が、しばしば用いられる。この二次粒子の大きさは、各種測定法があるが、最も代表的には遠心沈降法により、液中で単一に挙動している粒子の大きさとして求めることができる。構造は、透過型あるいは走査型の電子顕微鏡観察により、直接的に確認されることが多い。二次粒子構造を持つものとは対照的に、一時粒子そのものがユニットとなり、単一に挙動する例として、高温焼成α型アルミナの粉砕スラリーや、球状シリカゾルなどが知られている。
関連製品
「二次粒子」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「二次粒子」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
