半導体用語集
2極スパッタリング装置
英語表記：diode sputtering system
一対の陰極と陽極からなる２極陰極グロー放電構造を持つスパッタリング装置。陰極はターゲットに相当し、陽極はウェーハホルダを兼ねる。グロー放電を発生させるために、電極間に直流電圧を印加する直流２極スパッタリングと13.56MHzの高周波電圧を印加する高周波２極スパッタリング装置がある。後者は絶縁体もスパッタできる特徴を持つ。
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