半導体用語集
セルフバイアス 陰極電圧降下 Vdc
英語表記：self bias
高周波により放電を発生させた場合、電子とイオンの移動度の大きな違いと結合コンデンサによる電界作用により、高周波電極表面に発生する陰極電圧降下。通常Vdeと表され、ウェーハに入射するイオンのエネルギーと相関性がある。
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