半導体用語集
オゾン層破壊
英語表記：ozone depletion
OH、NO、Clなどのラジカル類が連鎖反応の触媒となってオゾン層が破壊されること。地表に到達する紫外線量が増加することが問題。Clを供給する主な物質がフロンや四塩化炭素、トリクロロエタン、特定ハロン、HCPCなどであるとされている。
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