半導体用語集
ハロゲン化物消火設備
英語表記：halogenide extinguishing system
ハロゲン化物が燃焼物に放射され、不燃性の重いガスに気化したときの酸素濃度低下による窒息作用及び抑制作用（燃焼連鎖反応抑制）により消火する設備。電気火災、油火災などにも有効であり、二酸化炭素に比べて人体への害が少ないが、消火剤の多くはオゾン層破壊物質として’94年1月よりその製造が禁止されている。’94年3月から運用が開始されているハロンバンク制度によるハロンガスの回収・再利用について周知を図っている。
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