半導体用語集
ハロゲン化物消火設備
英語表記：halogenide fire extinguishing system
ハロゲン化物が燃焼物に放射され、不燃性の重いガスに気化した時の酸素濃度低下による窒素作用と抑制作用により消火する設備。二酸化炭素にくらべて人体への害は少ないが、オゾン層破壊物質として1994年1月から製造が禁止されている。
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