半導体用語集
電解複合研磨 ECB研磨
英語表記：electro chemical buffing
配管やバルブ、チャンバ、ガスタンクなどの部品を加工変質層のない鏡面に仕上げる研磨。電解液中で電極を回転させ、研磨剤を投入しながら金属表面を研磨する。通常はECB研磨と呼ばれる。
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