半導体用語集

ターゲット利用効率

英語表記:efficiency of target utilization

仕様前のターゲットの容積に対する消耗容積の割合。マグネトロンカソードにおけるターゲット材料の消耗は磁極にはさまれた特定の領域(エロージョン領域)において行われ、このエロージョン領域での消耗深さでターゲットの寿命が決定されている。


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