半導体用語集
ターゲット利用効率
英語表記：efficiency of target utilization
仕様前のターゲットの容積に対する消耗容積の割合。マグネトロンカソードにおけるターゲット材料の消耗は磁極にはさまれた特定の領域（エロージョン領域）において行われ、このエロージョン領域での消耗深さでターゲットの寿命が決定されている。
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