半導体用語集
オゾンモニタ
英語表記：ozone monitor
オゾン洗浄やオゾン酸化用に供給するガス中のオゾン濃度の分析や、紫外線ランプの周辺から発生するオゾン濃度の管理を行うモニタ。測定原理には紫外線吸収法および隔膜式ポーラログラフ法がある。また、ウェーハ洗浄に用いる超純水中の微量オゾン濃度の管理にも使用される。
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