半導体用語集
焦点深度 DOF
英語表記：depth of focus D.O.F
一定の結像性能を維持できる焦点範囲のことで略して、DOFとも呼ばれる。焦点深度を数式で表すと次のようになる。
焦点深度＝
K1：係数 λ：波長 NA：開口数
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