半導体産業の進化を支える検査装置産業

掲載日 2025/11/14

1. 半導体検査装置とは

半導体プロセスにおいて、重要なプロセスとしては。良く露光、エッチング、成膜、CMPといった工程が挙げられる。しかし、これらの実際に加工するプロセスに対して、そのプロセスにおいて加工を実施しないプロセスが存在する。これは検査プロセスである。

　半導体の製造工程において、検査プロセスが語られることは実際に加工を行うプロセスと比較すると遥かに少ない。しかし、検査プロセスは半導体製造にとって極めて重要で、加工プロセスの間を張り巡らせられるように存在している。今回の特集では、半導体検査プロセスに焦点を当てていく。

2. 半導体検査装置市場の動向

2024年の半導体検査装置市場は、前年比11.5%増の1兆6,834億5,300万円にも上昇した。（テスタ及びその周辺装置を除く）半導体製造装置市場には及ばないが、巨大な市場を形成している。

検査装置において、市場が大きいのは、以下の表のようになっている。

（出典：世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2024）

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