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ウェーハ欠陥検査装置参入企業と企業別の立ち位置

掲載日 2022/11/28

<p>半導体を製造するにあたって、ウェーハ上や、製造した微細な配線にパーティクルや傷が生じることは、歩留まりを下げる要因になってしまう。また、チップに要求されるスペックに対して厳しく判定を行なってしまうようであれば、オーバースペックとなり、利益の減少に直結してしまう。ウェーハ欠陥検査装置は、これらのウェーハに対して、良品と不良品を切り分ける役割を果たしており、高品質、高信頼性を持つデバイスの製造のためには欠かせない装置である。ウエハメーカーによるウエハの出荷タイミングから、後工程工場の受け入れまで、先端プロセスからレガシィプロセスまでの検査工程に使用されている。ウェーハ欠陥検査装置の種類と役割ウェーハ欠陥検査装置には、下記の2つの種類が存在する。</p><p>①パーティクル検査</p><p>半導体工場では、細かなパーティクル管理がされているが、それでもパーティクルの発生を抑えることはできない。クリーンルームの状態、真空チャンバの状態、塗布、成膜前の状態、洗浄後の各プロセスにおけるパーティクル状態を確認するために、プロセス毎にウェーハ欠陥検査装置で定期的にチェックされている。近年では、良品かNG品かをより精巧に判断するために、各社AI (機械学習）が搭載された装置を販売しており、ウェーハ欠陥検査装置がバックデータを基に学習を行い、製品別により正確な判定を自動で行えるようにしている。</p><p>

②パターン検査

</p><p>ウェーハでは、最下層から上部に向かって何層にも配線が形成されている。しかしながら、配線パターンや絶縁層に欠陥が存在することで、エネルギーのリークやエレクトロマイグレーションなどの故障原因に繋がってしまう。このような欠陥品を流出させないように、各配線工程、最終検査でウェーハ欠陥検査装置によって、配線パターンの欠陥を確認している。