半導体用語集
フラッシュランプ アニール装置
英語表記：flash lamp annealer
キセノンフラッシュランプを使い、パワー密度10⁴～10⁵W/cm²の高エネルギー光をウェーハに照射し、数msの短時間でアニールを行う装置。大面積を一度にアニール可能、不純物の再分布が少ないなどの特徴がある。
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