半導体用語集

ボート

英語表記：boat

半導体結晶成長のための容器。ボート材質からの汚染、融液との反応が小さいことが必要である。融液とボートの間に、”ぬれ”が生ずると結晶性が悪くなるため表面をサンドプラスとで荒して用いたり、石英ボート内面にクリストハイライトを成長させるなどして用いられている。


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