半導体用語集

高周波誘導加熱法

英語表記:radio frequency heating method

高周波発振器によって、高周波変換した電流を被加熱物の周囲をとり巻く加熱コイルに導き、このコイルでつくられる高周波の磁束により誘導される渦電流によって、非加熱物質(抵抗体)を加熱する方法。


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